Sự phát triển của Máy đo tọa độ 3D (CMM) bắt đầu vào giữa thế kỷ 20 với sự ra đời của CMM thủ công.

Những máy thủ công này sử dụng đầu dò để đo các vật thể vật lý và ghi lại tọa độ của các điểm theo cách thủ công. Với sự tiến bộ của công nghệ máy tính, CMM đã phát triển thành các thiết bị được máy tính hỗ trợ tự động hóa quá trình đo lường, cải thiện độ chính xác và hiệu quả.

Ngày nay, CMM 3D hiện đại được trang bị các tính năng phần mềm và phần cứng tiên tiến như hệ thống đầu dò cảm ứng, máy quét laser và phần mềm phân tích dữ liệu, mô hình hóa và kỹ thuật đảo ngược. CMM 3D được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp khác nhau như hàng không vũ trụ, ô tô và sản xuất để kiểm soát chất lượng, kiểm tra và quy trình sản xuất.